氮泵，全称氮化物分子泵，也称作NBP。它是高精度、高真空度的真空泵，被广泛应用于半导体、光伏、LED 等工业领域及科研领域。那么，氮泵到底是什么？我们从原理、功能、应用三个方面来解析一下。
原理
氮泵工作原理与机械泵和扩散泵不同。氮泵是通过在高温条件下分解氨气，通过迅速注入碳官能化电子（如 CH4）而得出氮气，从而获得真空度 10^-10 mbar 的真空环境。因为氮泵的工作原理类似于镀膜设备中的镀膜过程，所以氮泵的出现被认为是一项突破性的技术改进。
功能
氮泵可以实现高真空度条件下的快速排气。与扩散泵相比，氮泵可以更精确地维持真空环境的稳定程度，适用于高快速真空排气要求的场合。同时，氮泵具有回收能力，可将由于回收到气体及泵体内部残留的气体分子排入气体排放系统，以保证工作环境不受到污染。
应用
氮泵的应用广泛，尤其是在半导体、光学、材料科学、物理、化学、生物医学等领域得到了广泛应用。例如，氮泵可以作为半导体制造中等离子体化学气相沉积（PECVD)、物理气相沉积等系统的真空泵；在二氧化硅反应器中实现真空保护以获得更优质纯净的材料等。
