近年来，随着纳米科技和微机电系统技术的飞速发展，对越来越小、越来越复杂的微纳系统的微加工技术提出了更加严格的要求，这使得固体微加工技术成为微加工领域中备受关注的研究方向之一。固体微加工技术是利用化学反应、物理现象和机械建构等手段，对硅、氮化硅、氧化物等半导体材料和其他材料进行微加工的技术。
近年来固体微加工技术得到了极大的发展，已经成为微加工领域中的主流技术之一。固体微加工技术具有高分辨率、高可重复性、高加工精度等优点，尤其适用于复杂的微纳加工结构，在微纳加工领域已经形成了“固体微加工技术第一”的赫赫声望。
以离子束刻蚀、电子束刻蚀、激光微加工等为代表的固体微加工技术越来越受到重视。研究人员们通过对这些技术的研究，不断挖掘其潜力，对微纳米加工提出了越来越高的要求。未来，固体微加工技术将会更加广泛地应用到各种微纳系统、传感器、光电器件等领域，有望推动微纳系统和微纳电子技术的进一步发展。
