什么是蝴蝶机?
蝴蝶机是一种用于半导体芯片制造的关键设备。
蝴蝶机的全称是金属有机化学气相沉积设备,英文名为Chemical Vapor Deposition(CVD)。它通过在高温环境中将金属有机化合物蒸气或气态金属气体与基板表面相遇,反应生成薄膜。该设备通常采用真空装置,能够在纳米尺度上控制晶体薄膜的生长。
蝴蝶机在半导体制造中起着重要的作用。它能够使半导体芯片表面形成一层均匀、高质量的薄膜,提高芯片的性能和可靠性。蝴蝶机还广泛应用于电子、光电、光学、化学、材料等领域的研究和生产中。
蝴蝶机是一种用于半导体芯片制造的关键设备。
蝴蝶机的全称是金属有机化学气相沉积设备,英文名为Chemical Vapor Deposition(CVD)。它通过在高温环境中将金属有机化合物蒸气或气态金属气体与基板表面相遇,反应生成薄膜。该设备通常采用真空装置,能够在纳米尺度上控制晶体薄膜的生长。
蝴蝶机在半导体制造中起着重要的作用。它能够使半导体芯片表面形成一层均匀、高质量的薄膜,提高芯片的性能和可靠性。蝴蝶机还广泛应用于电子、光电、光学、化学、材料等领域的研究和生产中。